كيف معالجة الجزيئات المتبقية الصعبة التنظيف عليها على سطح الويفر بعد التلميع؟
2025-09-01 · أخبار
بعد تلميع الصفيحة ، يتم تنظيف الجسيمات المتبقية من مواد التشحيل الطين للتلميع والمواد الصلبة المدمجة الناتجة عن الاحتكاك (التي تسبب التلوث والخدوش) عادة باستخدام منظف فرشاة مادة PVA بعد CMP ، مع استبدال لوحة التلميع المنتظمة الموصى بها أيضًا للحد من التلوث.
تعلم المزيد