من حيث دقة الإنتاج الضخم، يتمتع هذا الجهاز بقدرة لا يمكن تعويضها على التحكم في التجانس الشامل. وبفضل أنظمة تنظيم الضغط المناطقي عالي الدقة، والنقل المؤازر بسرعة ثابتة، وتوريد سائل التلميع بضغط ودرجة حرارة مستقرين، يمكنه موازنة معدل إزالة المواد بدقة بين مركز الرقاقة وحوافها. كما يحل بفعالية المشكلات الشائعة في العمليات التقليدية مثل التلميع الزائد للحواف، والبقايا المركزية، وانحرافات السماكة داخل الرقاقة، ويحقق بثبات خشونة نانومترية وتسوية سطحية فائقة، ليلبي المعايير الصارمة للعمليات المتقدمة بدقة 14 نانومتر وأقل.