تعد ماكينة تخفيض سماكة الرقاقات ثنائية المحور المعدات الأساسية لعملية تخفيض السماكة فائقة الدقة للجهة الخلفية لرقاقات أشباه الموصلات. تعتمد هيكل متكامل للطحن الخشن والدقيق المتناسق ثنائي المحور، وتحقق معالجة سماكة منخفضة الإجهاد، عالية التجانس وكفاءة عالية لرقاقات السيليكون وأشباه الموصلات من الجيل الثالث. وتستخدم على نطاق واسع في تعبئة الرقاقات الإلكترونية، تصنيع الأجهزة القدرة وعمليات التكامل المتقدمة، كونها معدات تقنية لا غنى عنها في مرحلة المعالجة الدقيقة اللاحقة لأشباه الموصلات.

بدأ تطور صناعة تخفيض سماكة الرقاقات ثنائية المحور محليًا متأخرًا نسبيًا. وفي المراحل المبكرة، ظل السوق الفاخر يعتمد بالكامل على المعدات المستوردة لفترة طويلة، بينما اقتصر الإنتاج المحلي على المعدات أحادية المحور المنخفضة الجودة ومعدات الطحن البسيطة، مع وجود فجوة كبيرة في دقة المعالجة، مستوى التشغيل الآلي واستقرار العمليات التقنية.

مع تقدم سياسات توطين صناعة أشباه الموصلات والتوسع السريع في صناعة التغليف والاختبار ورقاقات القدرة المحلية، شهدت تقنية تخفيض السماكة ثنائية المحور المحلية تطورًا متكررًا مستمرًا. دخلت الموديلات الأوتوماتيكية بالكامل مرحلة الإنتاج الضخم والتطبيق، وأنجزت بشكل أساسي استبدال العمليات المتوسطة والمنخفضة الجودة، وتتجه بسرعة نحو مجال معالجة الرقاقات فائقة الرقة الفاخرة والمواد الصلبة الهشة.

عند المقارنة التقنية الشاملة بين المحلي والأجنبي، تتميز تقنية ماكينة تخفيض سماكة الرقاقات ثنائية المحور الفاخرة الأجنبية بدرجة نضج عالية. تتمثل مزاياها الأساسية في نظام محاور فائق الدقة، استقرار التشغيل طويل المدى، تراكم خبرات عمليات تخفيض السماكة فائقة الرقة منخفضة الضرر، وقدرة التحكم في السماكة بالحلقة المغلقة الكاملة. تتحكم بدقة ممتازة في انحراف السماكة الكلية للجهاز، وتتميز بانخفاض معدل تكسر الرقاقات وطبقة ضرر ضئيلة في عمليات الرقة الفائقة، وتلبي متطلبات الإنتاج الضخم للرقاقات الخاصة كبيرة الحجم عالية الصلابة، مع قواعد بيانات عمليات متكاملة ومعدل تشغيل مرتفع للمعدات.

تتمثل عيوبها في ارتفاع تكلفة شراء المعدات، طول دورة التسليم، ارتفاع تكاليف الصيانة اللاحقة وبطء الاستجابة لتكييف العمليات المحلية.

تتميز معدات تخفيض السماكة ثنائية المحور المحلية بميزة واضحة في نسبة الجودة إلى السعر، وانخفاض أسعار المعدات وتكاليف الصيانة، وسرعة استجابة الخدمة المحلية ومرونة عالية في تخصيص العمليات، مما يجعلها مناسبة لمتطلبات الإنتاج الضخم المحلي للرقاقات متوسطة وصغيرة الحجم ذات السماكة العادية. كما يستمر تحسين النظام البيئي الداعم للتوطين المحلي.

تكمن نقاط الضعف في عدم كفاية استقرار المكونات الدقيقة الأساسية، ضعف اتساق نتائج المعالجة المستمرة طويلة المدى، نقص تراكم العمليات المتكاملة لتخفيض السماكة فائقة الرقة الفاخرة ومعالجة الحواف الخاصة والمواد الصلبة الهشة، ووجود مجال لتحسين نسبة النجاح في الإنتاج الضخم للعمليات عالية الدقة.

سيتجه تطور الصناعة في المستقبل حول أربعة محاور رئيسية: المعالجة فائقة الدقة فائقة الرقة، العمليات منخفضة الإجهاد والضرر، التحكم الذكي بالحلقة المغلقة، واستقلالية تصنيع المكونات الأساسية. وسيعمل ذلك على تقليص الفجوة الجيلية التقنية بين المحلي والأجنبي بشكل مستمر، ودفع استبدال التوطين الكلي لـ ماكينة تخفيض سماكة الرقاقات ثنائية المحور في العمليات الفاخرة.