يعمل الطلاء بالفراغ على تشكيل أغشية وظيفية عن طريق ترسيب جزيئات مواد الطلاء على أسطح الركائز. يحدد تجانس سماكة الطبقة وقوة التصاقها بشكل مباشر الخصائص البصرية والكهربائية والوقائية للمكونات الدقيقة. تتميز معدات الطلاء العادية بالتحكم التقريبي في المعايير، مما يؤدي بسهولة إلى عدم تجانس سماكة الطبقات، ظهور الثقوب الدقيقة، وضعف قوة الالتصاق، وضعف اتساق الإنتاج الدفعي، ولا تفي بمتطلبات التصنيع الدقيق المتطور.
تتميز
آلة طلاء الرقاقات بنظام تحكم مغلق الحلقة للفراغ ونظام تعديل القدرة اللحظي، حيث تقوم بمراقبة ضغط الغرفة ودرجة الحرارة وتدفق غازات المعالجة بشكل مستمر وتصحيحها تلقائيًا. تعتمد القطع على هيكل دوران كوكبي، مما يضمن انتظام مسار حركة الركائز وثبات معدل ترسيب جزيئات الطلاء. يدمج الجهاز وحدة مراقبة سماكة الطبقات المباشرة، مما يسمح بضبط السماكة المستهدفة مسبقًا، وتعديل معايير المعالجة ديناميكيًا أثناء الترسيب للتحكم في انحرافات طبقة الطلاء.
يتوافق الجهاز مع عمليات طلاء متعددة تشمل التبخر والرش، ويمكنه تصنيع الطبقات المعدنية والطبقات العازلة والطبقات الواقية الصلبة. تم تحسين أداء إغلاق الغرفة لتقليل الشوائب الداخلية وخفض عيوب الطبقات. يمكن حفظ معايير المعالجة وإعادة استخدامها، مما يسمح بإعادة إنتاج العمليات بدقة في دفعات الإنتاج المختلفة، وإنتاج طبقات ذات تفاوتات ضئيلة وقوة التصاق ممتازة بشكل مستقر. تُستخدم على نطاق واسع في تعديل أسطح العدسات البصرية والركائز أشباه الموصلات والقطع المعدنية الدقيقة، مما يعزز مقاومة القطع للتآكل والتلف والخصائص النفاذة البصرية، ويلبي متطلبات الإنتاج الضخم للمكونات الدقيقة.
English
русский
한국어
Deutsch
español
italiano
العَرَبِيَّة