يتميز مطحن الرقائق ثنائي المحور بعمودين طحن مستقلين، يحمل كل منهما عجلة طحن خشنة وعجلة طحن دقيقة على التوالي. بعد تثبيت الرقاقة مرة واحدة، تكتمل عمليات الطحن الخشني الخلفي والطحن الدقيق الخلفي بشكل متتالي، مما يتجنب أخطاء الموضع الناتجة عن التحميل والتفريغ المتكرر. يسمح نظام المؤازرة ثنائي العمود بضبط سرعة الدوران ومعدل التغذية بشكل منفصل؛ يقوم الطحن الخشني بإزالة فائض المواد بسرعة، بينما يمنع الطحن الدقيق تكوين طبقة التلف السطحي. تحتوي المعدات على وحدة كشف سماكة مغلقة الحلقة متصلة بالعمل، تراقب السماكة المتبقية للرقاقة في الوقت الفعلي وتعدل تغذية الطحن تلقائيًا للتحكم المستقر في التفاوتات الهندسية الرئيسية مثل TTV والالتواء. يخفف الهيكل عالي الصلابة من اهتزازات الطحن، ويقلل إجهاد معالجة الرقاقة ويخفض احتمالية التكسر. يناسب الطحن الخلفي للرقائق من السيليكون أحادي البلورة وكربيد السيليكون مقاس 6–12 بوصة، ويدعم إنتاج عينات البحث والتطوير والإنتاج الضخم. يمكن حفظ واعادة استخدام وصفات معلمات العملية لضمان اتساق الدفعة، ويمكن إدخال الرقائق بعد المعالجة مباشرة في عمليات أشباه الموصلات اللاحقة مثل التلميع والتعدين المعدني.