El rectificador de obleas de doble eje cuenta con dos husillos de rectificado independientes, equipados respectivamente con una muela de desbaste y una muela de acabado. Con una sola sujeción de la oblea, ejecuta continuamente los procesos de desbaste trasero y acabado trasero, evitando errores de posicionamiento derivados de cargas y descargas repetidas. El sistema servo de doble husillo permite ajustar de forma independiente la velocidad de rotación y el avance. El desbaste elimina rápidamente el exceso de material, mientras que el acabado inhibe la formación de la capa dañada superficial. El equipo incorpora una unidad de detección de espesor en bucle cerrado en línea, que supervisa el espesor restante de la oblea en tiempo real y ajusta automáticamente el avance de rectificado para controlar de manera estable tolerancias geométricas clave como TTV y alabeo. Su estructura de alta rigidez amortigua las vibraciones de rectificado, reduce la tensión de mecanizado de la oblea y disminuye el riesgo de rotura. Es apto para el rectificado trasero de obleas de silicio monocristalino y carburo de silicio de 6–12 pulgadas, compatible tanto con la fabricación de muestras de I+D como con la producción en masa. Las recetas de parámetros de proceso se pueden guardar y reutilizar para garantizar la uniformidad del lote. Las obleas procesadas pueden pasar directamente a procesos semiconductores posteriores, como el pulido y la metalización.