Máquina de lapeado de doble cara de tantalato de litio adopta una estructura de lapeado contra dos platos. Completa el lapeado sincronizado de ambos lados de la oblea en una sola sujeción, y la cantidad de eliminación de material de ambas caras mantiene un equilibrio dinámico. Equipada con sistema de control de presión de baja tensión y transmisión planetaria de alta precisión, el plato gira estable y la trayectoria de lapeado es uniforme en toda el área. Ante las propiedades duras y frágiles del monocristal de tantalato de litio, el proceso controla con precisión la entrada de tensión para inhibir eficazmente la aparición de microfisuras y daños de red cristalina, conservando plenamente las propiedades piezoeléctricas y ópticas intrínsecas del material. El equipo puede controlar con alta precisión y estabilidad la tolerancia de espesor, paralelismo y planitud de la oblea, evitando totalmente desviaciones de posicionamiento y alabeo de oblea causados por el proceso tradicional de lapeado con múltiples giros. Realiza el lapeado de precisión integrado de obleas de tantalato de litio con doble cara sincronizada, bajo daño y alta precisión.