آلة طحن الرقاقات الصغيرة مصممة لتجارب التطوير والتصنيع التجريبي والتلميع الدقيق بالدفعات الصغيرة للرقاقات الموحدة مقاس 6–12 بوصة. بفضل الهيكل عالي الصلابة ونظام حركة الطحن الكوكبي الدقيق، توفر ظروف طحن موحدة على كامل السطح، وتحل المشكلات الأساسية في عملية طحن الرقاقات مثل تباين السماكة داخل الرقاقة، وتآكل الحواف، والتشوه المستوي. الجهاز مزود بنظام تحكم مغلق ثلاثي الأبعاد عالي الدقة للضغط وسرعة الدوران ومدة المعالجة، ويحقق إزالة ثابتة للمواد بمستوى الميكرومتر. مناسب لتخفيف السماكة وتسوية الركائز أشباه الموصلات مثل رقائق السيليكون، وكربيد السيليكون، والياقوت، والكوارتز. من خلال التوازن الديناميكي لدقة دوران القرص، يعمل على إلغاء تركيز الإجهاد والتشوه الناتج عن ارتفاع درجة الحرارة أثناء معالجة الرقاقات، ويتحكم بدقة في التسطح الكلي، والتوازي، وانحراف السماكة الكلية للرقاقة، ويقلل بشكل كبير من أضرار الطحن السطحية والإجهادات المتبقية. بالمقارنة مع معدات طحن الرقاقات الكبيرة المخصصة للإنتاج الضخم، يتميز هذا الجهاز بنطاق أوسع لضبط المعاملات وقدرة أكبر على التكيف مع العمليات. يمكن التبديل بمرونة بين الطحن الخشن والطحن الدقيق والطحن فائق الدقة، ويدعم التحقق السريع المتكرر لمواد الاستهلاك ووصفات العمليات. الجهاز متوافق مع تصنيع العينات الفردية ومعالجة الرقاقات بالدفعات الصغيرة، وتكلفة التجارب منخفضة، وقابلية إعادة إنتاج العملية عالية، مما يسمح بإخراج بيانات عملية مستقرة وموثوقة بسرعة. الرقاقات بعد المعالجة تتميز بتسطح سطحي ممتاز، ولا توجد شقوق دقيقة أو خدوش واضحة. حالة الركيزة تفي تماماً بمتطلبات العمليات الدقيقة اللاحقة مثل الطباعة الضوئية، والطلاء، والترابط. يستخدم على نطاق واسع لتطوير العمليات وتحضير عينات الرقاقات مقاس 6–12 بوصة في معاهد أبحاث أشباه الموصلات، ومختبرات الجامعات، ومراكز البحث والتطوير بالشركات.