
تستخدم آلة اللاب المزدوجة نظام نقل حركة كوكبي. يقوم الحامل بتحريك الرقائق في حركة مركبة بين قرصي اللاب العلوي والسفلي. من خلال التحميل الضغطي المرن والمجزأ، يتم تجنب تركيز الضغط الموضعي وخفض الإجهاد المتبقي داخل الرقاقة. نمط إزالة المواد المنتظم يوازن القوى على وجهي الرقاقة ويقلل من الالتواء بعد المعالجة. تتضمن المعدات وحدة تحكم بالضغط المؤازر ووحدة قياس السمك اللحظي. يتم تعديل الضغط وسرعة دوران الأقراص ومدة المعالجة بشكل ديناميكي بناءً على قراءات السمك الفورية لمنع اللاب الزائد في مناطق محددة. تضمن أقراص اللاب عالية التسوية معدل إزالة موحد على كامل مساحة الرقاقة وتقلل التشوه الناتج عن عدم تجانس إزالة المواد. تناسب رقائق أشباه الموصلات مقاس 6–12 بوصة من السيليكون أحادي البلورة وكربيد السيليكون وغيرها، وتدعم عمليات اللاب الخشن والناعم المنفصلة. يقلل نظام امتصاص الاهتزاز في المعدة من اهتزازات اللاب ويخفض الأضرار تحت السطحية. هذه التقنية تحسن الالتواء في الرقاقة، وتقلل خطر التكسر في المراحل اللاحقة، وتفي بالمتطلبات الدقيقة لدقة شكل الرقائق في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات.












مسح WeChat