Adecuado para la producción en masa de recubrimiento AR.
Características:
1.Excelente uniformidad por el sistema de rotación del sustrato de accionamiento central.
2. Tiempo de tacto de recubrimiento acortado logrado por un mayor rendimiento en bombeo y calefacción.
3. Monitor óptico, fuente de iones CC y fuente de evaporación del calentador de resistencia se pueden instalar opcionalmente.
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Especificaciones de Gener-1315
| Tamaño de la cámara |
SUS304, φ1300 mm × 1500 mm (H) |
| Cúpula de sustrato |
Cúpula de cuatro secciones (o φ1200 mm) |
| Velocidad máxima de rotación de la cúpula |
30 rpm (Variable) |
| Monitor de espesor de película de cristal |
XTC/3 más sensor rotativo de 6 puntos |
| Fuente de evaporación |
Una unidad de fuente EB |
| Rendimiento |
|
| Presión Última |
7,0 × 10-5 Pa o menos |
| Velocidad de bombeo |
10 min (desde la presión atmosférica a 3,0 × 10-3 Pa) |
| Máxima temperatura de calentamiento del sustrato. |
350 ° C |
| Requisitos de utilidad |
|
| Huella |
4500 mm (W) × 6000 mm (D) × 3200 mm (H) |
| Fuente de alimentación |
3-fase, 200 V, 50/60 Hz, 80 kVA, aprox. |
| Flujo mínimo de agua |
100 / min |
| Presión del aire |
0,5 - 0,7 MPa |
| Peso |
6500kg, aprox. |
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