Esta máquina es un revestimiento óptico de película delgada a gran escala para revestimientos anti-mancha (AS), anti-reflexión (AR) y AR AS.
Características:
1.Excelente uniformidad por el sistema de rotación del sustrato de accionamiento central.
Fuente de iones 2.RF para mejorar la resistencia a la abrasión (sujeto a más de cuarenta mil pruebas de abrasión*)
3. producción en masa para el recubrimiento de AS.
* Los ciclos de abrasión se pueden variar según el estándar de prueba de resistencia al desgaste.
+8613622378685
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Especificaciones de Gener-2314
| Tamaño de la cámara |
φ2350 mm × H1400 mm |
| Cúpula de sustrato |
φ2200 mm, Cinco secciones |
| Velocidad máxima de rotación de la cúpula |
20 rpm |
| Monitor de espesor de película de cristal |
Monitor de cristal de 6 puntos |
| Fuente de evaporación |
Una unidad de fuente EB, fuente AS móvil |
| Fuente de iones |
Fuente de iones RF |
| Rendimiento |
|
| Presión Última |
7.0E-5 Pa o inferior |
| Velocidad de bombeo |
15 min (desde la presión atmosférica hasta 2,0 × 10-3 Pa) |
| Requisitos de utilidad |
|
| Huella |
6300 (W) × 9000 (D) × 4000 mm (H) |
| Fuente de alimentación |
3-fase, 200 V, 50/60 Hz, 80 kVA, aprox. |
| Flujo mínimo de agua |
220 Q / min |
| Presión del aire |
0,5 - 0,7 MPa |
| Peso |
12000kg, aprox. |
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