이 기계는 오염 방지(AS), 반사 방지(AR), AS-AR 코팅에 사용되는 대형 광학 박막 도포기이다.
피쳐:
1. 중심 구동 기판 회전 시스템은 뛰어난 균일성을 가지고 있다.
2.내마모성을 강화한 RF 이온원(4만 회 이상 마모 시험*)
3. AS 코팅 대량 생산.
* 마모 주기는 내마모성 테스트 기준에 따라 달라질 수 있습니다.
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Gener-2314의 사양
| 방 크기 |
φ2350 mm × H1400 mm |
| 기판 기판 기Dome |
φ2200 mm, 5개의 절단 |
| 최대. 최대 최대 최대 최최최최대 최대 최대 최대 최대 최대 최최최대 최최대 최대 최최최대 최최 |
20 rpm |
| 크리스탈 필름 두께 모니터 |
6점 크리스탈 플림 모니터 |
| 증발 소스 |
EB 소스의 1개의 단위, 이동가능한 AS 소스 |
| 이온 소스 |
RF 이온 소스 |
| 성능 |
|
| 궁극적인 압력 |
7.0E-5 Pa 또는 그 이하 |
| 펌핑 속도 |
15 분 (대기압에서 2.0 × 10-3 Pa) |
| 유틸리티 요구 사항 |
|
| 발자국 |
6300 (W) × 9000 (D) × 4000 mm (H) |
| 전력 공급 |
3단계, 200 V, 50/60 Hz, 80 kVA, 약 |
| 최소 물 흐름 |
220 Q /분 |
| 공기 압력 |
0.5 - 0.7 MPa |
| 무게 |
12000kg, 약. |
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