전자동 웨이퍼 박막화 기계는 왜 다양한 정밀 소재 가공에 적합한가?
2026-05-28 · 뉴스
전자동 웨이퍼 박막화 기계는 반도체 후공정의 핵심 정밀 연삭 장비입니다. 자동 상하차, 온라인 두께 측정, 정밀 연삭 및 지능형 온도 제어 시스템을 통합했으며, 정압 기동 스핀들과 폐루프 서보 이송 기술을 기반으로 웨이퍼 기재의 고정밀, 저손상, 균일 박막화 가공을 실현합니다. 다양한 종류의 반도체 및 기능성 결정 기재에 폭넓게 적용 가능하며, 칩 패키징, 전력 소자, 광전 소자 제조의 핵심 장비입니다.본 장비의 핵심 가공 대상은 각종 반도체 웨이퍼로,
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