게르마늄 웨이퍼 그라인딩의 문제점 및 해결책
2025-10-24 · 뉴스
게르마늄(Ge) 웨이퍼 그라인딩 과정에서 재료 자체의 물리화학적 특성(낮은 경도, 높은 취성, 쉬운 산화, 온도 민감성 등)으로 인해 전용 Ge 웨이퍼랩핑 머신으로 그라인딩할 때 표면 손상, 치수 정밀도 편차, 오염 등의 문제가 발생하기 쉽습니다.표면 스크래치 (거친 스크래치, 미세 스크래치)원인:그라인딩 액체에 큰 연마 입자 또는 불순물이 존재 (예: 연마제 응집, 외부 먼지 혼입).연마제 경도 불일치 (과도하게 높은 경도는 쉽게 스크래치를 유발하고,
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