قبة الركيزة

φ2200 مم، خمسة أقسام

ماكس. سرعة الدوران القبة

20 دورة في الدقيقة

كريستال فيلم سمك المراقبة

مراقبة فليم كريستال 6 نقاط

مصدر التبخر

وحدة واحدة من مصدر EB ، مصدر AS المتحرك

مصدر أيون

مصدر أيون RF

أداء

الضغط النهائي

7.0E-5 Pa أو أقل

سرعة الضخ

15 دقيقة (من الضغط الجوي إلى 2.0 × 10-3 Pa)

متطلبات المرافق

البصمة

6300 (W) × 9000 (D) × 4000 مم (H)

إمدادات الطاقة

ثلاثية المراحل، 200 فولت، 50/60 هرتز، 80 كيلوفولت، تقريباً.

الحد الأدنى من تدفق المياه

220 ق / دقيقة

ضغط الهواء

0.5 - 0.7 ميجا باس

الوزن

12000kg، تقريبا.