Diese Maschine ist ein großflächiger optischer Dünnschichtbeschichter für Anti-Schmutz (AS), Anti-Reflexion (AR) und AS AR Beschichtungen.
EIGENSCHAFTEN:
1.Excellent Einheitlichkeit durch das Zentrum Antrieb Substrat Rotationssystem.
2.RF-Ionenquelle zur Verbesserung der Abrasionsbeständigkeit (unterliegend mehr als vierzigtausend Abrasionstests*)
3.Massenproduktion für AS-Beschichtung.
* Die Abnutzungszyklen können je nach Standard der Verschleißbeständigkeitsprüfung variiert werden.
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Spezifikationen von Gener-2314
| Kammergröße |
φ2350 mm × H1400 mm |
| Substrat Dome |
φ2200 mm, Fünfschnitt |
| Max. Kuppeldrehzahl |
20 Umdrehungen pro Minute |
| Kristallfilm Dicke Monitor |
6-Punkt-Kristallflim-Monitor |
| Verdunstungsquelle |
Eine Einheit von EB-Quelle, bewegliche AS-Quelle |
| Ionenquelle |
RF Ionenquelle |
| Leistung |
|
| Der ultimative Druck |
7.0E-5 Pa oder niedriger |
| Pumpengeschwindigkeit |
15 min (vom Luftdruck auf 2,0 × 10-3 Pa) |
| Utility Anforderungen |
|
| Fußabdruck |
6300 (W) × 9000 (D) × 4000 mm (H) |
| Stromversorgung |
3-Phasen, 200 V, 50/60 Hz, 80 kVA, ca. |
| Minimal Wasserfluss |
220 Q / min |
| Luftdruck |
0,5 - 0,7 MPa |
| Gewicht |
12000kg, ca. |
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