1.

المعلمات الفنية لـ  آلة تشحيم حواف الويفر

• آلية إدخال المعلمات الدقيقة: تدعم الإدخال الرقمي للمعلمات الرئيسية مثل قطر الويفر (Φ4-8 بوصات) وطول حافة تحديد الموضع وعرض السطح، بدقة ضبط المعلمات تصل إلى 0.001 مم. يمكن للنظام مطابقة خوارزمية التشغيل المقابلة تلقائيًا، وتجنب الأخطاء الناتجة عن ضبط المعلمات اليدوية، وضمان أن معلمات العملية تتماشى بشكل كبير مع احتياجات التشغيل.

2. المعلمات الفنية لـ آلة تشحيم حواف الويفر

• دقة الحركة والقياس: تصل دقة تحكم الحركة الدقيقة لدائرة الحجر إلى 0.5 ميكرومتر فقط، مما يسمح بتحكم التقديم على مستوى النانومتر؛
• دقة تحديد الموضع والمنصة: تعمل 3 مجموعات من أنظمة تحديد الموضع البصري CCD معًا، بدقة بكسل تحديد الموضع 3 ميكرومتر ودقة تحديد الموضع المتكرر لكل محور 5 ميكرومتر، مما يضمن أن انحراف الموضع في كل تثبيت لويفر يكون أقل من عتبة العملية؛ تستخدم منصة الحجر قاعدة من الرخام، مع ضبط ارتفاع وجه المقدمة ضمن 5 ميكرومتر وتناظر المركز بين المنتج وطاولة الحجر ±5 ميكرومتر، مما يزيل تأثير اهتزازات المنصة على دقة التشغيل؛
• دقة التشحيم والشكل: عند زاوية دائرة الحجر 45 درجة، تُضبط دقة التشحيم بثبات ضمن 10 ميكرومتر؛ قدرة تحكم دائرة الويفر <10 ميكرومتر ودقة تحكم الزاوية ±0.1 درجة، والتي يمكنها تلبية المتطلبات الصارمة لدقة شكل الحواف لأرقام أشباه الموصلات والعدسات البصرية وما إلى ذلك.

3. التطبيقات الصناعية لـ آلة تشحيم حواف الويفر

• مجال أشباه الموصلات: عند إجراء تشحيم من جانبي على ألمنيوم الصنوبر وأحجام الويفر من كربيد السيليكون، يمكنه منع تشققات الحواف، وضمن استواء الويفر في نفس الوقت، وتقديم ركيزة مؤهلة للعمليات اللاحقة لللغة والعبوة، وتقليل معدل العيوب في عملية تصنيع الرقم؛
• مجال البصريات: بالنسبة للمواد مثل الزجاج البصري والبلورات الصفير، يمكنه التحكم بدقة في زاوية التشحيم ومعدل انعكاس الحافة، وتقليل الخسائر الناتجة عن انعكاس الضوء، وتحسين نسبة النقل الضوئي وجودة الصورة لعناصر البصريات.