1. الطحن الميكانيكي والتأثير الكيميائي

2. نظام التشغيل المتكامل لمكونات الدقة

1. صفيحة الصقل: كمكون أساسي للمعالجة، تُصنع عادةً من مواد معدنية عالية القوة. يمكن استبدال مواد استهلاكية مختلفة مثلกระดาษ الكركم وقطعة الصقل حسب المادة المراد معالجتها.
2. جهاز التثبيت: يستخدم طريقتين رئيسيتين، الشفافية الفراغية أو المعدن الميكانيكي، لتثبيت قطعة العمل، مما يضمن عدم وجود انحراف أو اهتزاز للقطعة أثناء المعالجة. بالنسبة للمواد الرقيقة والخ脆性 مثل زجاج السافر، يُجهز أيضًا آلية تثبيت مرنة لمنع كسر قطعة العمل بسبب الضغط المفرط.
3. نظام الطاقة والضغط: يوفر المحرك طاقة قابلة للتعديل لصفيحة الصقل، مع نطاق سرعة يدور عادةً يغطي 5-250 دورة في الدقيقة لتكييف مع احتياجات معالجة مواد مختلفة. يُستخدم نظام الضغط طريقة ضبط "الأسطوانة + مستشعر الضغط" أو الوزن.
4. نظام إمداد السائل الكيميائي: يتكون من خزان تخزين، ومضخة، وفوهة، ويمكنه التحكم الدقيق في تدفق سائل الصقل لضمان أن منطقة المعالجة تكون دائمًا في بيئة كيميائية مثالية. وفي نفس الوقت، يمنع تصميم المياه الصادرة المسامية الأجسام الغريبة من إướcاء سطح قطعة العمل.
5. نظام التحكم: مع PLC كنواة واجهة بشر-آلة شاشة لمس، يدعم تحرير وتخزين برامج متعددة.

3. المعايير الرئيسية لقياس الدقة

1. تسطحية السطح: تقيس الانحراف بين سطح قطعة العمل والمنحدر المثالي، وهي المتطلب الرئيسي للمعالجة عالية الدقة.
2. خشونة السطح: تعكس مستوى التموجات الدقيقة للسطح، وغالبًا ما تُعبر عنه بقيمة Ra. من خلال اختيار المواد المحلقة الدقيقة وتحسين العملية، يمكن لمكنة صقل CMP تقليل قيمة Ra لسطح قطعة العمل إلى أقل من 0.08μm، ويمكن لبعض النماذج الدقيقة حتى تحقيق سطح سلس للغاية قريب من مستوى النانومتر.
3. استقرار المعالجة: تُضمن الدقة الطويلة الأمد للمعالجة من خلال التصاميم مثل آلية صقلة السكين ونظام تعويض الضغط. على سبيل المثال، يمكن للجهاز ضبط تسطحية صفيحة الطحن إلى ±0.01مم، وبالتعاون مع إمداد السائل الدقيق للمضخة، يمكن لنسبة الجودة لمعالجة الدفعة الواحدة الوصول إلى أكثر من 98.53%.
4. مرونة التكيف: تُعبر عنه من خلال نطاق أحجام المعالجة وتوافق المواد. يمكن للجهاز الرئيسي معالجة قطع عمل بحجم أقصى يصل إلى 1000مم وسماكة معالجة صغيرة فقط 0.3مم، ويمكنه التكيف مع مواد مختلفة مثل رقائق السيليكون، السافر، الزجاج، والفولاذ المقاوم للصدأ.

تعتمد مكنة صقل CMP على آلية المعالجة المركبة "الطحن الميكانيكي كطريقة أساسية والتأثير الكيميائي كمساعدة" والتعاون الدقيق لخمسة مكونات أساسية مثل صفيحة الصقل وجهاز التثبيت. يمكنها تحقيق تحسين السطح من ضبط الحجم على مستوى المايكرو إلى مستوى النانومتر. تُظهر أداءً ممتازًا في ضمان المؤشرات الرئيسية مثل تسطحية سطح قطعة العمل ولامعته في مجالات التصنيع عالية المستوى مثل المواد شبه الموصلية، وتتمتلك استقرارًا جيدًا لمعالجة ومرونة تكيف.