خشونة السطح (Ra): "رمز اللسانة" على مستوى النانومترالخشونة السطحية (Ra) هي "عنصر التقييم الأساسي" لآلة التلميع المرآتي، والتي تمثل разницу الارتفاع بين القمم والأودية على سطح القطعة العملية. كلما كان القيمة أصغر، كان السطح أقرب إلى مستوى مثالي. هدف آلة التلميع المرآتي هو تقليل هذه القيمة إلى أقصى حد:تتطلب القطع المعدنية Ra ≤ 0.0005 ميكرو متر، بينما تحتوي المكونات البصرية عالية الجودة على متطلبات أقسى — Ra ≤ 0.0002 ميكرو متر.

العكسة: اختبار مزدوج لـ"اللمعان والدقة" لألة التلميع المرآتيالعكسة هي المظهر الأكثر بديهية للتأثير المرآتي، لكن آلة التلميع المرآتي لا تسعى لـ"اللمعان الأكثر، الأفضل"، بل لـ"اللمعان الدقيق".على طول موجة الضوء المرئي 550 نانومتر (الأكثر حساسية لعيون الإنسان)، يجب أن تصل عكسة القطع المعدنية التي تم معالجتها بواسطة آلة التلميع المرآتي إلى ≥ 90%. والأكثر أهمية: يجب أن تكون الصورة العاكسة "بدون تشويه" — عند إضاءة السطح بخط مستقيم، تظل العكسة مستقيمة، بدون أي انحناء أو تشويه.هذا المؤشر لا يتطلب تقييمًا شخصيًّا؛ يمكن لجهاز قياس الطيف (السپكتروفيوتومتر) قراءة البيانات مباشرةً. اختيار العملية والمادة الكاشطة لـآلة التلميع المرآتي هما العوامل الرئيسية التي تحدد ما إذا كانت العكسة تحقق المعايير.

كثافة العيوب: الحد الأدنى لـ"بدون عيوب" تحت المجهرحتى لو تحققت خشونة السطح والعكسة المعايير، فإن "عمل" آلة التلميع المرآتي لم ينته — فحص كثافة العيوب هو "التحقق الأخير". المعايير الصناعية للمرآة صارمة إلى درجة "الإغراء بالتفاصيل"؛ في كل سم مربع من السطح، يجب أن يكن عدد الخدوش التي طولها ≥ 50 ميكرو متر ≤ 1، وأن يكن عدد النقاط الدائرية (المقاع) التي قطرها ≥ 1 ميكرو متر ≤ 0.5.أثناء الفحص، يفحص المهندسون السطح الكامل باستخدام مجهر معدني بتكبير 100 مرة؛ أي عيب صغير قد يؤدي إلى "الإقناع بلا رأي آخر" (الڤيتو الواحد). ولهذا السبب تُزين آلات التلميع المرآتي برؤوس تلميع عالية الدقة وسوائل تلميع عالية الجودة — لأنه أي نقص في الدقة في أي من هاتين العنصريين قد يسبب خدوش أو شظايا قاتلة، مما يجعل القطع العالية الجودة مثل ألواح الصناعية (الويفر) والعدسات البصرية تُصبح بلا فائدة على الفور.