Шероховатость поверхности (Ra): «Код гладкости» на наномасштабеШероховатость поверхности (Ra) — это «основной пункт оценки» для зеркальных шлифовальных машин, она представляет разницу высот между пиками и впадениями на поверхности заготовки. Чем меньше значение, тем ближе поверхность к идеальной плоскости. Цель зеркальной шлифовальной машины — свести это значение к минимуму:Для металлических заготовок требуется Ra ≤ 0,0005 мкм, а для высококачественных оптических деталей требования еще более строгие — Ra ≤ 0,0002 мкм.

Коэффициент отражения: Двойная проверка «яркости и точности» для зеркальных шлифовальных машинКоэффициент отражения — наиболее наглядное проявление зеркального эффекта, но зеркальная шлифовальная машина стремится не к «чем ярче, тем лучше», а к «точной яркости».На длине волны видимого света 550 нм (самой чувствительной для человеческого глаза) коэффициент отражения металлических заготовок, обработанных зеркальной шлифовальной машиной, должен составлять ≥ 90%. Более важно, что отраженное изображение должно быть «без искажений» — при проецировании прямой линии на поверхность отражение остается прямой, без каких-либо искривлений или размытий.Этот показатель не требует субъективной оценки; спектрофотометр может напрямую считывать данные. Выбор технологии и абразивов для зеркальной шлифовальной машины являются основными факторами, определяющими соответствие коэффициента отражения стандартам.

Плотность дефектов: Порог «без дефектов» под микроскопомДаже если шероховатость и коэффициент отражения соответствуют стандартам, «работа» зеркальной шлифовальной машины не закончена — проверка плотности дефектов является последней «проверкой». Промышленные стандарты для зеркальных покрытий чрезвычайно строгие: на квадратный сантиметр поверхности количество царапин длиной ≥ 50 мкм должно быть ≤ 1, а количество ям диаметром ≥ 1 мкм — ≤ 0,5.При проверке инженеры используют металлографический микроскоп с увеличением 100x для осмотра всей поверхности; любая мелкая неисправность может привести к «одному отрицательному голосу». Вот почему зеркальные шлифовальные машины оборудуются высокоточными шлифовальными головками и высококачественными шлифовальными жидкостями — любая небрежность в любом из этих элементов может привести к критическим царапинам или осколкам, что делает непригодными для использования высококачественные заготовки, такие как полупроводниковые пластины и оптические объективы.