من أي أجزاء تتكون؟


1. محور كهربائي هيدروستاتيكي عائم بالهواء من سلسلة DL-ES55
   ميزات: يمتلك محمل الهواء صلابة عالية، اهتزازات منخفضة، تمدد حراري منخفض، وتغير سرعة صغير.
   يُستخدم محور الكهربائي العائم بالهواء مادة مسامية دقيقة صلبة ككتلة عائم بالهواء، وتُجد دقة المحور، العمر الافتراضي، نفاذية الهواء والاستقرار في مقدمة منتجات المحاور العالمية.
   
   
   
2. أداة معالجة (منिपوليتور)
   
   
   
3. طاولة دوارة عملية محملة بالهواء هيدروستاتيكي
   
   
   
4. NCG (مقياس غير ملموس)
   ميزات:
   • غير ملموس، يقلل من معدل الكسر؛

   • أكثر دقة، يمكن قياس سمك الويفر بعد إزالة اللصق.
     المواصفات: الدقة ≤ 1 ميكرومتر؛ القدرة على التكرار 0.1 ميكرومتر.
     

     
     سهولة التشغيل: مزودة بشاشة كريستالية سائلة لمس و ממשק مستخدم رسومي (GUI) لتحسين سهولة التشغيل. يمكن لشاشة التحكم عرض حالة المعالجة وحالة الجهاز одновременно.



كيف تعمل؟



1. ضع صندوق الويفر على طاولة المواد، التي تقوم بتشعير صندوق الويفر تلقائياً.
2. تلتقط أداة المعالجة الويفر من صندوق الويفر وتنقله إلى محطة توجيه الويفر؛ تقوم محطة التوجيه بتوطين وتوجيه الويفر.
3. تدور الطاولة الدوارة الرئيسية إلى محطة A للتلميع، يقوم مقياس NCG بكتشاف سمك الويفر وتعويض كمية التغذية تلقائياً.
4. تدور الطاولة الدوارة الرئيسية إلى محطة B للتلميع، يقوم مقياس NCG بكتشاف سمك الويفر وتعويض كمية التغذية تلقائياً.
5. تدور الطاولة الدوارة الرئيسية إلى محطة C للتنظيف والتجفيف.

1. ترجع أداة المعالجة الويفر المنظف إلى صندوق الويفر.

مواصفات آلة تلميع الويفرالكامل الآلي