Сверхтонкие кремниевые пластины являются типичными тонкостенными изделиями из твердого хрупкого материала и служат основным базовым материалом для оптоэлектронных сенсоров, полупроводниковой упаковки и производства фотоэлектрических модулей. После резки и грубой шлифовки на поверхности кремниевых пластин остаются мелкие следы обработки, неровности микронного уровня и внутренние механические напряжения. Обычное полировальное оборудование не обладает достаточной стабильностью обработки, что часто приводит к короблению пластин, неравномерности поверхности и дефектам краев, не соответствуя стандартам сверхточной обработки высокотехнологичных отраслей. Это основная причина, по которой полировальная машина для кремниевых пластин стала специализированным оборудованием для тонкой обработки в отрасли.