Оптический плёночный распылитель
NSC - 2350 является лучшей системой для распыления в металлическом режиме оптических пленок, особенно больших площадей фундамента.
AR AS flms для мобильных терминальных устройств, автомобилей и других панелей.
Характеристики:
Большая площадь покрытия: максимальная H1100 × W450 мм
До 6 катодов
Замена катодов дополнительными компонентами
Высокореактивные плазменные источники с низкой абсорбционной пленкой
5. Система передачи кронштейнов с запиранием нагрузки
6. Получение пленки с низким содержанием частиц путем оптимизации систем осаждения и переноса
7. Покрытие AR / AS для одного процесса
+8613622378685
В WeChat
В WeChat
В YouTube
Спецификации NSC-0718
| Вакуумная камера |
LL Room：SUS304, W700 × H1860 × D1760 мм |
|
|
PR Room：SUS304, φ2350 × H1950 мм |
| держатель субстрата |
Избираемые 15 - 22 шт |
| Ротарная система барабана подложки |
φ2245 мм, тип барабана, 10 об/мин - 50 об/мин (настраиваемый) |
| Источник реакции |
ICP (индуктивно соединенная плазма) |
| Источник распыления |
Двойный ротационный катод (тип планера в качестве опции) |
| Система эвакуации |
Грубый насос, Турбо молекулярный насос, Meissner chiller |
| Производительность |
|
| Конечное давление |
LL Комната: 10 Па |
| Скорость снижения насоса |
LL Комната: 8 мин (от атмосферного до 10 Па) |
| Коммунальные требования |
|
| След |
7000 мм (Ш) × 6600 мм (Г) × 4000 мм (В) |
| Питание |
3-фазный N G, 380V ± 5%, 300kVA, 50/60Hz |
| Min. скорость потока воды |
400 Q / мин или больше (Давление: 0,6 - 0,7 МПа) |
| Давление сжатого воздуха |
0,5 МПа - 0,7 МПа |
| Вес брутто |
30000 кг приблизительно. |
Сканирование микроканалов
English
русский
한국어
Deutsch
español
italiano
العَرَبِيَّة