Оптический пластинный уровень распыления покрытия
OWLS-1800 является горизонтальным металлическим распылителем для покрытия пластинной оптики (WLO).
Система может непосредственно покрывать фильтры пропускной полосы на пластинках устройства, используемых для датчиков TOF и близости.
Особенности:
1. До 12" пластинок
2. Планетарная система вращения пластин
3. Разработанный для покрытия низких частиц
4. Оптический монитор толщины (вариант)
5. Интеграция EFEM и соблюдение стандартов SEMI (вариант)
+8613622378685
В WeChat
В WeChat
В YouTube
Спецификации OWLS-1800
| Вакуумная камера |
LL Комната TR Комната PR |
| держатель субстрата |
10 шт (Макс 12 дюймов) |
| Ротарная Substrarte барабанная система |
φ1800 мм, тип поворотного стола, |
| Источник реакции |
ICP (индуктивно соединенная плазма) |
| Источник распыления |
Двойный ротационный катод (тип планера доступен в качестве опции) |
| Эвакуационная система |
Грубый насос, Турбо молекулярный насос, Meissner chiller |
| Производительность |
|
| Конечное давление |
LL Комната, TR Комната: 10 Па PR Комната: ≤5.0 × 10-4 Па |
| Скорость снижения насоса |
LL Room, TR Room：5 мин (от атмосферного до 10 Па) PR Room：40 мин (от атмосферного до 5,0 × 10-3 Па) |
| Коммунальные требования |
|
| След |
6500 мм (Ш) × 6000 мм (Г) × 3000 мм (В) |
| Питание |
3-фазный N G, 380V ± 5%, 150 кВА, 50/60 Гц |
| Min. скорость потока воды |
215 К/мин или больше |
| Давление воздуха |
0,5 - 0,7 МПа |
| Вес |
13500 кг приблизительно. |
Сканирование микроканалов
English
русский
한국어
Deutsch
español
italiano
العَرَبِيَّة