حامل الركيزة

10 جهاز كمبيوتر شخصي (أقصى 12 بوصة)

نظام طبل Substrarte الدوار

φ1800 مم، نوع طاولة الدوار،
10 دورات في الدقيقة - 60 دورة في الدقيقة
* نوع الدوران الكوكبي

مصدر رد الفعل

ICP (بلازما مقترنة استقراضياً)

مصدر الرش

كاثود دوار مزدوج (نوع Planer متاح كخيار)

نظام الإخلاء

مضخة خشنة، مضخة جزيئية توربو، مبرد ميسنر

أداء

الضغط النهائي

غرفة LL ، غرفة TR: 10 Pa غرفة PR: ≤5.0 × 10-4 Pa

مضخة أسفل معدل

غرفة LL، غرفة TR: 5 دقايق (من الغلاف الجوي إلى 10 Pa) غرفة PR: 40 دقايق (من الغلاف الجوي إلى 5.0 × 10-3 Pa)

متطلبات المرافق

البصمة

6500 مم (W) × 6000 مم (D) × 3000 مم (H)

إمدادات الطاقة

3 مرحلة N G، 380V ± 5٪، 150 كيلو فا، 50/60 هرتز

Min. معدل تدفق المياه

215 ق / دقيقة أو أكثر

ضغط الهواء

0.5 - 0.7 ميجا باس

الوزن

13500 كجم تقريباً