recubrimiento pulverizador nivel oblea óptica
OWLS-1800 es un pulverizador horizontal en modo metálico para recubrimiento óptico a nivel de oblea (WLO).
El sistema puede recubrir directamente filtros de paso de banda en obleas de dispositivo utilizadas para TOF y sensores de proximidad.
Características:
1. hasta 12 "obleas
2. Sistema de rotación de obleas planetarias
3. Diseñado para recubrimiento de partículas bajas
4. Monitor de espesor óptico (opción)
5. Integración EFEM y cumplimiento de las normas SEMI (opción)
+8613622378685
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Especificaciones de OWLS-1800
| Cámara de vacío |
Sala LL Sala TR Sala PR |
| Sostenidor de sustrato |
10 piezas (máximo 12 pulgadas) |
| Sistema de tambor de sustrato rotativo |
φ1800 mm, tipo giratorio, |
| Fuente de reacción |
ICP (plasma acoplado inductivamente) |
| Fuente de pulverización |
Cátodo rotativo doble (tipo Planer disponible como opción) |
| Sistema de evacuación |
Bomba de rugosidad, bomba molecular turbo, enfriador Meissner |
| Rendimiento |
|
| Presión Última |
Sala LL, TR Sala: 10 Pa Sala PR: ≤5.0 × 10-4 Pa |
| Tasa de bomba abajo |
Sala LL, Sala TR: 5 min (De la atmósfera a 10 Pa) Sala PR: 40 min (De la atmósfera a 5,0 × 10-3 Pa) |
| Requisitos de utilidad |
|
| Huella |
6500 mm (W) × 6000 mm (D) × 3000 mm (H) |
| Fuente de alimentación |
N G trifásico, 380V ± 5%, 150 kVA, 50/60 Hz |
| Velocidad mínima de flujo de agua |
215 Q /min o más |
| Presión del aire |
0,5 - 0,7 MPa |
| Peso |
13500 kg aprox. |
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