반응 플라즈마 정착 시스템
RPD 시리즈는 반응형 플라즈마 정착 시스템이며 저렴한 비용으로 고성능, 기능적 인 LED 필름 (ITO 및 AlN) 을 대량 생산 할 수 있습니다.
특징:
1. 반응형 플라즈마 소스를 사용함으로써 沉积材料의 활성화와 증발을 실현합니다.
2. 최적의 에너지를 적용함으로써 고품질 결정 영화.
3. 저온 및 저비용에 대량 생산.
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RPD-1011의 사양
| 방 크기 |
1000 mm × H1165 mm |
| 기판 기판 기Dome |
φ 870 mm |
| 최대. 최대 최대 최대 최최최최최대 최대 최대 최대 최대 최대 최최대 최최대 최대 최대 최최대 최최 |
10 - 30 rpm |
| 크리스탈 Flim 두께 모니터 |
6 점 회전 센서 |
| 이온 소스 |
반응성 플라즈마 소스 |
| 성능 |
|
| 궁극적인 압력 |
1.0E-4 Pa 또는 그 이하 |
| 펌핑 속도 |
20 분 (대기압에서 1.3 × 10-3 Pa) |
| 유틸리티 요구 사항 |
|
| 발자국 |
약 4000 mm (W) × 6000 mm (D) × 2800 mm (H) |
| 전력 공급 |
3단계, 200 V ± 5%, 75 kVA, 약. |
| 최소 물 흐름 |
80 Q /min 이상 |
| 공기 압력 |
0.5 MPa - 0.7 MPa |
| 무게 |
약 4000 kg |
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