Präzisionspolieren von 4-Zoll-Wafern: Technische Anwendung und Qualitätskontrolle der Saphir-Flachpoliermaschine
2026-04-21 · News
4-Zoll-Wafer sind aufgrund ihrer hohen Hitzebeständigkeit, hohen Härte (Mohshärte 9), hervorragenden optischen Durchlässigkeit und chemischen Stabilität zu Kernsubstraten für LED-Epitaxie, GaN-Leistungsbauelemente und andere Bereiche geworden. Ihre Oberfl
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