Film sottile ottico sputtering Coater
NSC-15 è un sistema di sputtering metallico tipo load-lock con elevate prestazioni e produttività. È adatto per la deposizione di vari filtri come il rivestimento anti-macchia AR per dispositivi mobili e pannelli automobilistici, il rivestimento decorativo per smartphone compatibili con il 5G e BPF e LWPF per sensori.
Caratteristiche:
1. 4 tipi di materiali bersaglio al massimo
2. Sostituzione del catodo con altro componente
3. Catodo cilindrico rotativo doppio per lo scarico stabile
4. Alta fonte di plasma reattiva per film a basso assorbimento
5. Film a bassa densità di particelle opimizzando sistemi di deposito e trasferimento
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Specifiche di NSC-0508
| Camera di vuoto |
LL camera: SUS304, W500 mm × D800 mm × H2890 mm |
| Sostrato Holder |
Selezionabile 13 - 22 pz a supporto |
| Sistema di tamburo a substrato rotativo |
φ1500 mm, tipo tamburo, 10 giri al minuto - 100 giri al minuto (variabile) |
| Fonte di reazione |
ICP (plasma accoppiato induttivamente) |
| Fonte di sputtering |
Catodo rotativo doppio (tipo Planer come opzione) |
| Sistema di evacuazione |
Pompa di coagulazione, pompa molecolare Turbo |
| Prestazioni |
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| Pressione finale |
Camera LL: 10 Pa |
| Tasso di riduzione della pompa |
Camera LL: ≤20 min (da atmosferica a 1,0 × 10-1 Pa) |
| Impostazione del substrato |
150℃ come opzione |
| Requisiti di utilità |
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| Impronta |
5800 mm (L) × 7700 mm (D) × 3200 mm (H) |
| Alimentazione elettrica |
3-fase N G, 380V ± 10%, 130kVA, 50/60Hz |
| Portata dell'acqua di raffreddamento |
233 Q /min o superiore |
| Pressione dell'aria compressa |
0,5 MPa - 0,7 MPa |
| Peso lordo |
16000 kg circa. |
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