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NSC-15은 고성능과 생산성을 가진 로드-로크 유형 금속 모드 스퍼터 시스템입니다.모바일 장치 및 자동차 패널용 AR 안티 스모모모지 코팅, 5G 호환 스마트폰용 장식 코팅, 센서용 BPF 및 LWPF와 같은 다양한 필터의 입착에 적합합니다.
특징:
1. 최대 목표 물자의 4 종류
2. 다른 성분으로 감극의 교체
3. 안정적인 방전을 위한 이중 회전하는 원통형 阴극
4. 낮은 흡수 필름을 위한 높은 반응성 플라즈마 원천
5. 저입자 밀도 필름 정착 및 전송 시스템을 opimizing
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NSC-0508 사양
| 진공실 |
LL실: SUS304, W500mm×D800mm×H2890mm |
| 기판 브래킷 |
13~22개 스탠드 선택 가능 |
| 회전식 기재 롤러 시스템 |
1500mm, 롤러식, 10회전-100회전(가변) |
| 반응원 |
감지 결합 플라즈마 |
| 사출 소스 |
이중 회전 음극 (대패 유형 옵션) |
| 시스템 철수 |
펌프, 터빈 분자 펌프 |
| 공연 |
|
| 극한압력 |
LL실: 10Pa |
| 펌프 전송 속도 |
LL실: ≤20분(대기압에서 1.0×10-1Pa까지) |
| 기판 설정 |
150℃ 옵션 |
| 공용 시설 요구 사항 |
|
| 발자국 |
5800mm(가로)×7700mm(세로)×3200mm(두께) |
| 전원 공급 장치 |
3상 AC, 380V ± 10%, 130kVA, 50/60Hz |
| 냉각수 유량 |
233 Q/min 이상 |
| 압축 공기 압력 |
0.5메가파스칼-0.7메가파스칼 |
| 총중량 |
약 16000킬로그램. |
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