화학 기계적 폴리싱(CMP) 공정이란 무엇인가?
2025-09-15 · 뉴스
CMP 폴리싱 기계는 금속 재료(Al, W, Cu 등의 상호 연결층; Ti, TiN, Ta, TaN 등의 장벽층), 유전체층(SiO₂, PSG, BPSG, SiNₓ, Al₂O₃ 등) 및 반도체 재료(Si, GaN, SiC, GaAs, InP 등)를 폴리싱할 수 있습니다.
따라서 화학 기계적 폴리싱(CMP)은 화학적 부식과 기계적 폴리싱을 결합한 전역적 평탄화 공정으로, ULSI(초대규모 집적 회로) 생산의 핵.
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