AR 코팅의 대량 생산에 적합합니다.
특징:
중앙 드라이브 기판 회전 시스템에 의한 1.Excellent 균일성.
2. 2. 2. 2 펌2. 2 2 2. 2 2 2. 2 2 2 2. 2 2 2 2 2.
3.Optical 모니터, DC 이온 근원 및 저항 히터 증발 근원은 선택적으로 설치될 수 있습니다.
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범용 -1315 사양
| 챔버 크기 |
SUS304, 직경 1300mm×1500mm(두께) |
| 기판 돔 |
4단 돔 (또는≥1200mm) |
| 최대 돔 회전 속도 |
30 회전 / 분 (가변) |
| 결정막 두께 측정기 |
XTC/3 + 6점 회전 센서 |
| 증발원 |
EB 소스 1개 |
| 공연 |
|
| 극한압력 |
7.0 × 10-5Pa 이하 |
| 펌프 속도 |
10분(대기압에서 3.0 × 10-3Pa까지) |
| 최고 기판 가열 온도. |
섭씨 350도 |
| 공용 시설 요구 사항 |
|
| 발자국 |
4500mm(가로)×6000mm(세로)×3200mm(두께) |
| 전원 공급 장치 |
3상, 200V, 50/60Hz, 80kVA, 약. |
| 최소 물흐름량 |
100 / 분 |
| 공기 압력 |
0.5-0.7메가파스칼 |
| 무게 |
약 6500킬로그램. |
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