في مجال التشطيب المستوي الدقيق، تعاني آلات التلميع المستوي التقليدية من تخلف التصاميم الهيكلية والتحكمية والتقنية، وتتميز عمومًا بنقص الصلابة، اهتزاز التشغيل، التحكم الخشن في المعاملات، وضعف اتساق الدفعات. لا تستطيع تلبية متطلبات الإنتاج الضخم بدقة نانوية، بدون إجهاد وبمعدل إنتاج عالي للسيراميك أشباه الموصلات، الرقائق الضوئية، والمكونات الدقيقة فائقة الرقة. تظهر أثناء المعالجة عيوب مثل انحناء القطع، الشقوق الدقيقة، عدم تجانس السماكة، وعيوب تلميع موضعية. من خلال التطور التقني الشامل، يكسر الجيل الجديد الذكي من آلات التلميع المستوي قيود المعالجة الدقيقة للمعدات التقليدية، ويحقق إنتاجًا ضخمًا رقميًا، منخفض الإجهاد وموحد للتلميع الدقيق.