1. DL-ES55 시리즈 유정압 공기 부상 전기 주축
   장점: 공기 베어링은 고강성, 저진동, 저열팽창, 저속도 변동의 특징을 가지고 있습니다.
   공기 부상 전기 주축은 강성 미세기공 소재를 공기 부상 블록으로 채택하여, 주축 정밀도, 수명, 통기성 및 안정성이 세계 주축 제품의 최전선에 있습니다.
   
   
   
2. 매니퓰레이터 (로봇 팔)
   
   
   
3. 유정압 공기 베어링 작업 턴테이블
   
   
   
4. NCG(비접촉식 게이지)
   장점:
   • 비접촉 방식으로 파손률을 낮춤;

   • 정밀도가 높아 접착제 제거 후 웨이퍼 두께를 측정할 수 있음.
     사양: 정밀도 ≤ 1 μm; 반복 정밀도 0.1 μm.
     

     
     조작 간편성
     

     터치식 액정 디스플레이와 GUI(Graphical User Interface, 그래픽 사용자 인터페이스)가 장착되어 조작 편의성을 향상시켰습니다. 제어 화면은 가공 상태와 장비 상태를 동시에 표시할 수 있습니다.
     

1. 웨이퍼 카세트를 재료대에 놓으면, 재료대가 자동으로 웨이퍼 카세트를 교정합니다.
2. 매니퓰레이터가 웨이퍼 카세트에서 웨이퍼를 잡아 웨이퍼 안내 스테이지로 이송하며, 안내 스테이지는 웨이퍼를 위치 설정 및 안내합니다.
3. 메인 턴테이블이 A 스테이션으로 회전하여 연마를 수행하고, NCG가 웨이퍼 두께를 감지하며 이송량을 자동으로 보상합니다.
4. 메인 턴테이블이 B 스테이션으로 회전하여 폴리싱을 수행하고, NCG가 웨이퍼 두께를 감지하며 이송량을 자동으로 보상합니다.
5. 메인 턴테이블이 C 스테이션으로 회전하여 세척 및 건조를 수행합니다.

6. 매니퓰레이터가 세척 완료된 웨이퍼를 웨이퍼 카세트로 반환합니다.
   

   

완전자동 웨이퍼 연마기 사양서

용어 설명