Cumplir con los requisitos de rendimiento de dispositivos especiales: Los dispositivos MEMS (Sistemas Microelectromecánicos) (por ejemplo, acelerómetros, giróscopos) necesitan
máquinas de adelgazamiento de obleas para alcanzar "sensibilidad mecánica" — reduciendo el grosor de la oblea a 20-50μm. Las obleas más delgadas son más propensas a sufrir pequeñas deformaciones bajo la acción de fuerzas externas, lo que permite detectar señales físicas con precisión.
Además, el adelgazamiento de los chips de radiofrecuencia (RF) puede reducir las interferencias electromagnéticas y mejorar la estabilidad de la señal.