Soddisfacimento dei requisiti prestazionali di dispositivi speciali: I dispositivi MEMS (Sistemi Microelettromeccanici) (ad esempio, accelerometri, giroscopi) hanno bisogno di
macchine per l'attenuazione dei wafer per raggiungere la "sensibilità meccanica" — riducendo lo spessore del wafer a 20-50μm. I wafer più sottili sono più propensi a subire piccole deformazioni sotto l'azione di forze esterne, permettendo di rilevare con precisione i segnali fisici.
Inoltre, l'attenuazione dei chip a radiofrequenza (RF) può ridurre le interferenze elettromagnetiche e migliorare la stabilità del segnale.