Movimento del disco di levigatura
Il disco di levigatura è l’"strumento centrale". Deve essere livellato attraverso più processi come la finitura con una macchina automatica per la rettifica dei dischi e la fresatura delle scanalature, per garantire che la sua planarità sia ≤ 0,002 mm. Inoltre, la stabilità della velocità di rotazione deve essere controllata a ≤ ±1 rpm (tramite un sistema di controllo in ciclo chiuso con motore servo + righello ottico), evitando la levigatura non uniforme o la rottura della pezza a causa delle vibrazioni del disco.

Controllo della pressione
Il sistema di pressione funge da "spingitore preciso". I modelli di alta gamma sono dotati di 3–5 moduli di pressione (ovvero pressione elevata, pressione media, pressione leggera, ecc.), che permettono di utilizzare diversi livelli di pressione in cicli di levigatura differenti per adattarsi alle esigenze di levigatura di ciascun ciclo. Ad esempio, nella levigatura grossa si applica la pressione elevata per portare il prodotto velocemente allo spessore 预设；nella seconda fase, per migliorare la planarità, si usa la pressione media o leggera.

Assistenza del fluido di levigatura
Il fluido di levigatura è un "strumento ausiliario efficace" contenente abrasivi (diamante, carburo di silicio, ecc.), refrigeranti e dispersanti: gli abrasivi sono responsabili del "microtaglio" (per i materiali ad alta durezza si usano abrasivi di diamante, per i metalli abrasivi di carburo di silicio); i refrigeranti controllano la temperatura a ≤ 40 °C (evitando l’ossidazione del metallo e la rottura termica della ceramica); i dispersanti prevengono l’agglomerazione degli abrasivi (garantendo una rugosità superficiale uniforme).