Точная машина для тонкостенования обратной стороны пластины (полупроводниковой)

Это высокоэффективный шлифовальный/полishingовый станок для пластин.

Что может делать высокоточная машина для тонкостенования обратной стороны пластин?

Она может шлифовать материалы третьего поколения полупроводников, такие как SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO.

Это китайская самодельная шлифовальная машина, и ее характеристики соответствуют мировым стандартам.
图片1.jpg

Из чего она состоит?

Гидростатический аэроударный электровалок серии DL-ES55
Преимущества: Воздушное подшипное опорение имеет высокую жесткость, низкие вибрации, малое тепловое расширение и незначительные колебания скорости.
Аэроударный электровалок использует жесткий пористый материал для аэроударного блока. Точность вала, срок службы, воздухопроницаемость и стабильность находятся на переднем плане среди мировых продуктов валков.
Манипулятор
Гидростатический рабочий турник с аэроударным подшипным опорением
NCG (датчик бесконтактного измерения)
Преимущества:
- Бесконтактность, снижение процента разрушения пластин;
- Большая точность, возможность измерения толщины пластины после снятия клея.
  Технические характеристики: Точность ≤ 1 мкм; Повторяемость 0.1 мкм.
- Удобство эксплуатации: Экипирована сенсорным ЖК-дисплеем и GUI (графическим пользовательским интерфейсом) для повышения удобства. Экран управления одновременно отображает состояние обработки и состояние оборудования.

Как она работает?

Устанавливают кассету с пластинами на подающий стол, который автоматически калибрует кассету.
Манипулятор захватывает пластину из кассеты и переносит ее на стационарный стол для ориентации; стол ориентирует и позиционирует пластину.
Основной турник вращается на станцию А для шлифования; датчик NCG измеряет толщину пластины и автоматически компенсирует величину подачи.
Основной турник вращается на станцию B для полировки; датчик NCG измеряет толщину пластины и автоматически компенсирует величину подачи.
Основной турник вращается на станцию C для очистки и сушки.
Манипулятор возвращает очищенную пластину в кассету.

Расследования

Подробности о продукте

Технические характеристики полностью автоматической шлифовальной машины для пластин (полупроводниковых)

Характеристика	Подробная характеристика	Единица измерения	TY-6/8BGD	TY-8/12BGD
Диаметр пластины (полупроводниковой)	Диаметр пластины (полупроводниковой)	дюйм	4”, 6”	8”, 12”
Метод шлифования	Метод шлифования	-	Радиальное шлифование с вращением пластины	Радиальное шлифование с вращением пластины
Шлифовальные диски	Шлифовальные диски	мм	Алмазный диск (шлифовальная ось) Полуровальный платок (полуровальный платок CMP)	Алмазный диск (шлифовальная ось) Полуровальный платок (полуровальный платок CMP)
Шлифовальная ось	Номинальная мощность	кВт	~4	5.5
	Номинальная скорость	об/мин	1000~6000	1000~4000
Точность	Плоскостность	мкм	≤2	< 3
	Шероховатость	мкм	Ry 0.13 (с финишной обработкой #2000) Ry 0.15 (с финишной обработкой #1400)	Ry 0.13 (с финишной обработкой #2000) Ry 0.15 (с финишной обработкой #1400)
Габариты машины (Ш×Г×В)	Габариты машины (Ш×Г×В)	мм	2500×4500×1800	2500×4500×1800
Масса	Масса	кг	Примерно 4000 кг	Примерно 5000 кг

Следующая：Полуавтоматическая пластинная шлифовка