يعد كربيد السيليكون مادة النطاق العريض الأساسية لأشباه الموصلات من الجيل الثالث، ويتميز بالصلابة العالية والاستقرار الكيميائي ومقاومة درجات الحرارة المرتفعة، مما يجعله الركيزة الأساسية لمعدات الطاقة الجديدة والأجهزة الكهربائية عالية القدرة. وبسبب صلابته وهشاشته العالية، تزداد صعوبة معالجته، ولا تستطيع معدات الطحن التقليدية القضاء على الخدوش الدقيقة السطحية وطبقات الإجهاد وأخطاء الاستوائية. وتعد
ماكينة تلميع كربيد السيليكون (SiC) المعدات المتخصصة الأساسية للمعالجة الدقيقة لرقائق كربيد السيليكون، والمعدات المحورية لعملية تسوية الأسطح في المراحل المبكرة لتصنيع رقائق أشباه الموصلات.
تعتمد المعدات بشكل أساسي على مبدأ المعالجة المركب للتلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP)، والذي يختلف عن نماذج الطحن الميكانيكي البحت. أثناء التشغيل، يخضع سائل التلميع المتخصص أولاً لتفاعل أكسدة معتدل مع سطح رقاقة كربيد السيليكون، مما ينتج طبقة مؤكسدة معدلة ناعمة القوام. ثم تقوم الاحتكاكات الميكانيكية المنتظمة الناتجة عن أقراص التلميع عالية الدقة والمواد الكاشفة النانوية بإزالة الطبقة السطحية المعدلة بكميات دقيقة، لتحقيق توازن ديناميكي بين التآكل الكيميائي والإزالة الميكانيكية، والقضاء بشكل جذري على عيوب المعالجة مثل تكسر الحواف والخدوش والإجهادات المتبقية في المواد الصلبة الهشة.
للتوافق مع المعايير الصارمة لمعالجة رقائق كربيد السيليكون، تم تجهيز المعدات بأنظمة تحكم مغلقة للضغط، ونقل سرعة ثابتة، ومراقبة درجة الحرارة في الوقت الفعلي. يخضع هيكل المعدات عالي الصلابة لمعالجة الشيخوخة لمنع التشوهات التشغيلية واهتزاز الأقراص، وتعمل تقنية تعويض الضغط المناطقي على تعادل معدل إزالة المواد في مركز وحافة الرقاقة بشكل متساوٍ، مما يعالج مشكلة التواء القطع بفعالية. في نفس الوقت، يعمل وحدة التحكم في درجة الحرارة اللحظية على استقرار بيئة عمل سائل التلميع، وتجنب انحرافات دقة المعالجة الناتجة عن تقلبات درجات الحرارة.
بفضل نظام التحكم الدقيق في العمليات، تستطيع المعدات ضبط خشونة سطح رقائق كربيد السيليكون ضمن حدود 0.5 نانومتر، والتحكم الدقيق في أخطاء الاستوائية على مستوى الميكرون، مما يلبي بالكامل متطلبات الإنتاج العالي لعمليات النمو الخارجي والطباعة الضوئية. وبفضل مزايا المعالجة عالية الدقة، قليلة الضرر وعالية الاتساق، أصبحت ماكينة تلميع كربيد السيليكون (SiC) المعدات الأساسية لمعالجة الإنتاج الضخم لرقائق كربيد السيليكون في مجالات أشباه الموصلات الخاصة بالسيارات، والفضاء، والأجهزة الإلكترونية المتطورة.
English
русский
한국어
Deutsch
español
italiano
العَرَبِيَّة