تخضع رقائق السيليكون فائقة الرقة وركائز كربيد السيليكون المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات لمعايير دقيقة صارمة في المعايير الهندسية السطحية. تؤدي معدات المعالجة أحادية الوجه بسهولة إلى حدوث تشوه إجهادي في الرقائق، وتعجز عن التحكم المستقر في الاستوائية الكلية، لذلك أصبحت
ماكينة الصقل مزدوج الوجه المعدات الأساسية في مرحلة المعالجة المسبقة لركائز أشباه الموصلات من الجيل الثالث.
تعتمد المعدات على أقراص صقل من الحديد الزهر مزدوجة علوية وسفلية مقترنة، إلى جانب هيكل نقل كوكبي دقيق. يتم وضع القطع داخل حاملات التحميل، بينما يتم تزويد سائل الصقل بالدورة المستمرة لإزالة مخلفات الطحن والتحكم في ارتفاع درجة الحرارة أثناء المعالجة. يضم النظام بالكامل وحدة تحكم مغلقة للضغط وسرعة الدوران، تقوم بتعديل حمل الطحن على الأقراص العلوية والسفلية بشكل متزامن، وتعادل معدل إزالة المواد من جانبي الركيزة، مما يمنع الالتواء وزيادة فرق السمك الناتج عن الطحن الزائد من جهة واحدة.
من الناحية الفنية، تقوم ماكينة الصقل مزدوج الوجه بتنفيذ عملية الصقل الدقيق المتزامن لوجهي الركيزة الأمامي والخلفي في مرة واحدة. وتقيد شكل القطع عبر أقراص صقل عالية الاستوائية، وتحافظ على انحراف السمك الكلي (TTV) للركائز ضمن نطاق الميكرون. تتميز المعدات بوجود وحدة مراقبة السمك المباشرة، التي تقوم بجمع بيانات أبعاد الرقائق في الوقت الفعلي وتعديل معايير الصقل تلقائيًا للحفاظ على اتساق معالجة الدفعات.
في عملية الإنتاج الضخم للرقائق فائقة الرقة المصنوعة من السيليكون وكربيد السيليكون، تعمل عملية الصقل المزدوج المستقرة على إزالة طبقة الضرر السطحي الناتجة عن القطع مسبقًا، وتوفير قاعدة سطحية مؤهلة ومناسبة لعمليات التلميع وترسيب الأغشية الرقيقة اللاحقة. بالمقارنة مع عمليات الصقل الأحادي المتتالية، تقلل المعدات بشكل فعال من أخطاء تحديد الموضع الناتجة عن التثبيت المتكرر للقطع، وتقصر مدة دورة المعالجة، وتعد معدات دقيقة لا غنى عنها لضمان جودة المعالجة الأساسية لركائز أشباه الموصلات ذات النطاق العريض المحظور.
English
русский
한국어
Deutsch
español
italiano
العَرَبِيَّة