1. الارتباط الدائم

الغرض منه هو تشكيل رابط هيكلي ميكانيكي لا رجعة فيه ، والذي يستخدم في الغالب في تعبئة الأجهزة مثل التكامل ثلاثي الأبعاد و MEMS و TSV.

ينقسم الارتباط الدائم إلى الارتباط المباشر بدون طبقة وسطية والارتباط غير المباشر مع طبقة وسطية:

1.1 الارتباط المباشر (بدون طبقة وسيطة)

ربط الاندماج / ربط مباشر أو جزيئي

ربط النحاس والنحاس / الأكسيد الهجين

الترابط الأنودي

1.2 الارتباط غير المباشر (مع الطبقة الوسطى)

عازل الطبقة الوسطى

طبقة متوسطة معدنية

2. الارتباط المؤقت / إلغاء الارتباط

الغرض منه هو توفير دعم مؤقت أثناء معالجة الجهاز ويمكن إزالته في الخطوات اللاحقة ، وغالبا ما تستخدم لمعالجة الأوراق الرقيقة جدا
مع سمك أقل من 60μm.

يتم استخدام المواد اللاصقة المؤقتة أو الأفلام الرقيقة كطبقات وسيطةربط رقائق رقيقةإلى وافر دعم. بعد المعالجة ، يتم تحقيق فك الارتباط من خلال
الطرق الحرارية أو الليزرية أو الكيميائية.
هذه هي الطريقة الأكثر استخداما ونضجاصفائح قبل الرقيق.

ما سبق هو طرق ربط للشرائح في صناعة أشباه الموصلات. يتم اختيار طريقة الربط المناسبة بناء على مواد مختلفة
سيناريوهات التطبيق.