Полностью автоматический граinder для кремниевых пластин совместим с обычными пластинками размером 4 дюйма, 6 дюймов, 8 дюймов и 12 дюймов, но не со всеми размерами. Его совместимость ограничена несколькими факторами, такими как конструкция оборудования, технические характеристики зажимов, система управления и т.д. Для адаптации к пластинкам нестандартных размеров требуются целенаправленные регулировки. Основная логика адаптации основывается на совмещении оборудования и калибровке программного обеспечения.

На аппаратном уровне размер кремниевой пластины напрямую определяет технические характеристики всасывающего патрубка, роботического плеча для загрузки и выгрузки, а также эффективного диапазона шлифовки шлифовального круга. Обычные полностью автоматические модели по умолчанию совместимы с основными размерами пластин 4, 6, 8 и 12 дюймов. Для совместимости с мелкими пластинками меньше 4 дюймов необходимо заменить специализированный всасывающий патрубок и скорректировать точки захвата роботического плеча; для адаптации к крупным пластинкам больше 12 дюймов оборудование должно обладать большим ходом рабочего стола и более высокой жесткостью вала.

По отношению к программному обеспечению и технологиям шлифовочные параметры и точки контроля толщины пластин разных размеров необходимо заново калибровать. Мелкие пластинки склонны к деформации из-за неравномерной силы всасывания, поэтому необходимо оптимизировать параметры вакуумного давления; для крупных пластин требуется усилить компенсацию шлифовки краев, чтобы избежать отклонений толщины краев.

Большинство полностью автоматических граinderов для кремниевых пластин компании TENGYU используют режим «стандартная конфигурация для основных размеров + индивидуальная настройка для редких размеров». Поскольку частая замена размеров снижает производительность, TENGYU может предоставлять индивидуальные решения в соответствии с требованиями к размерам массовых производственных заводов, чтобы повысить совместимость и производительность оборудования.