Различия между полуавтоматическими и полностью автоматическими шлифовальными машинами для планарзации
Шлифовальные машины для планарзации (тонкой шлифовки) по степени автоматизации в основном делятся на
полуавтоматические и
полностью автоматические. Хотя основная функция обеих — это точное уменьшение толщины кристаллов (вейферов), они значительно различаются по автоматизации процессов, адаптации производительности и инвестиционным затратам, что делает их подходящими для различных производственных сценариев.
Основные различия заключаются в трех областях:
1. Технологический процесс
- Полуавтоматическая: Автоматизирована только основная шлифовальная операция. Вспомогательные операции, такие как загрузка, выгрузка, позиционирование кристаллов и выбор рецептур, требуют ручного труда. При смене модели также требуется ручная настройка параметров.
- Полностью автоматическая: Оснащена роботизированными манипуляторами и интеллектуальной системой планирования, обеспечивающей беспилотную работу по всему циклу (включая загрузку, инспекцию, шлифовку и очистку) без участия человека.
2. Производительность и контроль
- Полуавтоматическая: Подходит для производства мелкой и средней серии. Обладает гибкостью при смене моделей, но имеет ограниченную производительность за одну смену.
- Полностью автоматическая: Предназначена для крупносерийного производства. Может работать непрерывно 24 часа в сутки, причем производительность за одну смену в 2-3 раза выше, чем у полуавтоматической модели. Кроме того, оснащена замкнутой системой управления для калибровки параметров в режиме реального времени, что обеспечивает более высокую стабильность выхода годной продукции.
3. Стоимость и приспособляемость