تنقسم آلات طحن الويفر حسب درجة الأتمتة بشكل أساسي إلى آلات طحن الويفر شبه الآلية و آلات طحن الويفر بالكامل الآلية. على الرغم من أن الوظيفة الأساسية لكليهما هي تقليل سمك الويفر بدقة، إلا أنها تختلف اختلافًا كبيرًا في عمليات الأتمتة وتكيف القدرة الإنتاجية واستثمار التكلفة، مما يجعلهما مناسبان لسيناريوهات إنتاج مختلفة.
تتركز الاختلافات الجوهرية في ثلاثة مجالات:
1. عملية التشغيل
- الشبه الآلية: يتم أتمتة عملية الطحن الأساسية فقط. وتتطلب العمليات المساعدة مثل التحميل والتفريغ ومحاذاة الويفر واختيار الوصفة العملية، عناءً بشريًا. كما أن تعديلات المعلمات تكون يدوية أثناء تغيير النماذج.
- بالكامل الآلية: مجهزة بأذرع روبوتية ونظم جدولة ذكية، وتحقق تشغيلاً دون رافدين (بدون إشراف بشري) لكامل العمليات بما في ذلك التحميل والفحص والطحن والتنظيف، دون الحاجة إلى أي تدخل بشري.
2. القدرة والسيطرة
- الشبه الآلية: مناسبة للإنتاج بكميات صغيرة إلى متوسطة. وهي توفر مرونة عند تغيير النماذج، ولكنها لها قدرة محدودة في كل جولة عمل (وردية).
- بالكامل الآلية: مناسبة للإنتاج الجماعي على نطاق واسع. يمكنها العمل المستمر لمدة 24 ساعة، مع قدرة في كل جولة عمل تزيد بمقدار 2-3 أضعاف القدرة في النموذج شبه الآلي. كما أنها مزودة بسيطرة حلقة مغلقة لمعايرة المعلمات في الوقت الفعلي، مما يضمن استقرارًا متفوقًا في العائد (نسبة النجاح).
3. التكلفة والقدرة على التكيف
- الشبه الآلية: تكاليف الشراء والصيانة معتدلة، ويعتبر الحد الأدنى للدخول في التشغيل منخفضًا. يمكن للموظفين العاديين إتقان العملية بعد تدريب قصير الأجل، مما يجعلها مناسبة للشركات الصغيرة والمتوسطة وبيئات البحوث والتطوير.
- بالكامل الآلية: تتطلب استثمارًا كبيرًا في المعدات ولها متطلبات صارمة على بيئة ورشة العمل والأنظمة الداعمة. كما أن تكاليف الصيانة مرتفعة أيضًا، مما يجعلها مناسبة فقط للإنتاج الجماعي على نطاق واسع من قبل الشركات الرائدة.