تتمثل المعايير الأساسية لإتلاف دقيق وفعال للويفر على جهاز إتلاف الجانب الخلفي للويفر في دقة التحكم في السماكة بحد ±1–2 ميكرومتر، وتغير السماكة الكلي (TTV) ≤ 2 ميكرومتر، وعدم وجود عيوب مثل انكسار الحواف والشقوق الدقيقة والخدوش السطحية. يتم تحقيق ذلك من خلال التنظيم المنظم للمعالجة المسبقة للويفر، وتكييف المعدات والمواد الاستهلاكية، والتحكم الدقيق في العملية، ورصد الجودة طوال العملية، والهدف الأساسي هو موازنة كفاءة إزالة المادة وشمولية الويفر.

يجب أن تضمن المعالجة المسبقة للويفر أن المسطحة الأولية تتوافق مع المعايير، وأن الجانب الخلفي خالي من العيوب والطبقات الأكسدة، وأن الجانب الأمامي محمي (باستخدام شريط فائق الالتصاق فوق بنفسجي/أزرق) لمنع إتلاف الأنماط الأمامية أثناء المعالجة. بالنسبة للمعدات، يجب معايرة الانحراف الشعاعي للمحور الرئيسي إلى ≤ 0.5 ميكرومتر، ودقة تحديد موقع آلية التغذية إلى ≤ 0.1 ميكرومتر. يجب تكييف المواد الاستهلاكية بشكل متدرج: استخدام عجلات طحن الماس 500–2000# للطحن الخشن، وعجلات طحن الراتنجية 3000–8000# للطحن الدقيق، مع منع صارم للتلوث المتبادل بين الأحجام الجرينية المختلفة. يجب ضبط نظام التبريد مسبقًا للحفاظ على تدفق مستقر عند 10–15 لتر/دقيقة.

يهدف إلى إزالة المواد الزائدة بكفاءة. يتم التحكم في سرعة دوران المحور الرئيسي عند 1500–2500 دورة في الدقيقة، وضغط الطحن عند 0.3–0.5 ميجاباسكال. من خلال الطحن الصلب، يتم تقليل سماكة الويفر بسرعة إلى القيمة المستهدفة +20–30 ميكرومتر.

يركز على ضمان الدقة وجودة السطح. يتم زيادة سرعة دوران المحور الرئيسي إلى 3000–4000 دورة في الدقيقة، وخفض الضغط إلى 0.1–0.2 ميجاباسكال. يقوم القطع الدقيق بتصحيح الانحرافات في السماكة وخفض خشونة السطح إلى Ra ≤ 5 نانومتر.

يتم الحفاظ على نظافة المحطة الصناعية عند ≥ الفئة 100 طوال العملية لمنع الخدوش الناتجة عن الغبار. يتم التحكم في درجة الحرارة في الوقت الفعلي عند ≤ 40 درجة مئوية لتجنب الشقوق الدقيقة الناتجة عن الإجهاد الحراري. معالجة العيوب: خفض ضغط الطحن وفحص مسطحة العجلة في حالة انكسار الحواف؛ تعويض كمية التغذية عبر القياس المباشر في حالة الانحرافات في السماكة. يتبع الفحص معيارًا مزدوجًا «أجهزة + بصريًا»: تقوم أجهزة قياس السماكة بالليزر بمراقبة السماكة وTTV في نقاط متعددة، وتقوم المجاهر بفحص العيوب السطحية لضمان الامتثال لمتطلبات عملية التغليف.