Los criterios fundamentales para un adelgazado preciso y eficiente de obleas en una máquina de adelgazado por el reverso de obleas son una precisión de control de grosor de ±1–2 μm, una variación total de grosor (TTV) ≤ 2 μm y la ausencia de defectos como astillamiento de bordes, microfisuras y rayones superficiales. Esto se logra mediante la coordinación sistemática del preprocesamiento de la oblea, la adaptación de equipos y consumibles, el control preciso del proceso y la monitorización de calidad en todo el proceso, con el objetivo central de equilibrar la eficiencia de eliminación de material y la integridad de la oblea.

El preprocesamiento de la oblea debe garantizar que la planicidad inicial cumpla con los estándares, que la cara trasera esté libre de impurezas y capas de óxido, y que la cara frontal esté protegida (cinta UV/cinta azul de alta adhesión) para evitar daños en los patrones frontales durante el procesamiento. En cuanto al equipo, el salto radial del huso debe calibrarse a ≤ 0,5 μm y la precisión de posicionamiento del mecanismo de alimentación a ≤ 0,1 μm. Los consumibles deben adaptarse por etapas: ruedas de molienda de diamante 500–2000# para la molienda gruesa y ruedas de molienda con aglutinante de resina 3000–8000# para la molienda fina. Se prohíbe estrictamente la contaminación cruzada entre partículas de diferentes granulometrías. El sistema de refrigeración debe ajustarse previamente para mantener un caudal estable de 10–15 L/min.

Tiene como objetivo eliminar eficientemente el material excedente. La velocidad de rotación del huso se controla a 1500–2500 rpm, la presión de molienda a 0,3–0,5 MPa. Mediante molienda rígida, el grosor de la oblea se reduce rápidamente al valor objetivo +20–30 μm.

Se centra en garantizar la precisión y la calidad superficial. La velocidad de rotación del huso se incrementa a 3000–4000 rpm, la presión se reduce a 0,1–0,2 MPa. El microcorte corrige las desviaciones de grosor y reduce la rugosidad superficial a Ra ≤ 5 nm.

La limpieza del taller se mantiene en ≥ Clase 100 durante todo el proceso para prevenir rayones causados por el polvo. La temperatura en tiempo real se controla a ≤ 40 ℃ para evitar microfisuras por esfuerzos térmicos. Tratamiento de defectos: reducir la presión de molienda e inspeccionar la planicidad de la rueda en caso de astillamiento de bordes; compensar la alimentación mediante medición en línea en caso de desviaciones de grosor. La inspección sigue un doble estándar «instrumento + visual»: medidores de grosor láser monitorizan el grosor y la TTV en múltiples puntos, y microscopios inspeccionan los defectos superficiales para cumplir con los requisitos del proceso de encapsulado.