La máquina de adelgazamiento de obleas por levitación neumática es un equipo de proceso clave en la fabricación de semiconductores de alta gama. Basada en tecnología de soporte neumático, consigue el soporte sin contacto y el rectificado de alta precisión, con ventajas irremplazables en el procesamiento de obleas ultradelgadas, duras y frágiles. Este trabajo analiza las diferencias esenciales con las máquinas de adelgazamiento tradicionales de contacto en los ejes principales: principio técnico, rendimiento, operación y mantenimiento, y establece la lógica de selección para plantas.

Las diferencias clave se centran en tres puntos: Primero, principio de soporte y fijación. Las máquinas tradicionales de contacto usan ventosas de vacío para adsorber físicamente las obleas. La presión de contacto causa fácilmente deformación y rotura de bordes, especialmente inadecuado para obleas ultradelgadas. La máquina de adelgazamiento por levitación neumática forma una película de aire uniforme mediante gas limpio a alta presión, logrando soporte suspendido sin contacto, evitando daños por tensiones. Procesa de forma estable obleas ultradelgadas de GaAs y SiC de 20–50 μm.

Segundo, consistencia y calidad de procesamiento. Los modelos tradicionales sufren desgaste de ventosas y adsorción irregular, generando grandes fluctuaciones de TTV y marcas/rayaduras. El modelo neumático no tiene fricción. Con control preciso de presión de película de aire y monitoreo online de espesor, la precisión TTV se estabiliza en ±0,8 μm, rugosidad Ra ≤10 nm, mejorando enormemente el rendimiento de empaquetado.

Tercero, operación, mantenimiento y adaptabilidad. Los modelos tradicionales requieren cambio periódico de ventosas desgastadas, ciclos cortos y costos altos; el cambio de formato necesita ajustes frecuentes. El modelo neumático no tiene piezas de contacto desgastables; el mantenimiento solo requiere limpieza de circuito de aire y calibración de presión, reduciendo costos en más del 30%. Es compatible con obleas de 4–12 pulgadas, cambio rápido y eficiente.

Las plantas eligen el modelo neumático porque se adapta a la modernización de fabricación de alta gama. Resuelve los problemas clave de las máquinas tradicionales en obleas ultradelgadas y frágiles, y satisface la producción a escala de empaquetado avanzado con calidad estable y menores costos totales, siendo esencial en la fabricación de semiconductores de alta gama.

En aplicaciones prácticas, las máquinas de adelgazamiento mecánicas dominan la producción masiva, y las láser se usan en nichos de alta gama. Ambas suelen complementarse, no sustituirse.