Cómo lograr el adelgazamiento preciso y eficiente de obleas en la Máquina de adelgazamiento posterior-

Cómo lograr el adelgazamiento preciso y eficiente de obleas en la Máquina de adelgazamiento posterior

2026-02-19691

Los criterios clave para el adelgazamiento preciso y eficiente en la Máquina de adelgazamiento posterior son: precisión de espesor ±1–2 μm, TTV (variación total de espesor) ≤2 μm y sin defectos como astillado, microfisuras o rayaduras. Se logra mediante coordinación de pretratamiento, equipamiento, consumibles, control de proceso y monitoreo integral. El foco es equilibrar eficiencia de remoción y integridad de la oblea.

Requisitos previos: Pretratamiento y coincidencia de equipos y consumibles
Pretratamiento: garantizar planitud inicial, limpieza en la cara posterior, protección frontal (cinta UV/azul) para evitar daños en los patrones.
Calibración: juego radial del husillo ≤0,5 μm, precisión de posicionamiento ≤0,1 μm.
Consumibles escalonados: rectificado grueso 1000–2000# ruedas diamantadas, rectificado fino 3000–8000# ruedas de resina. Prohibida contaminación cruzada. Refrigeración 10–15 L/min.
Proceso central: Control preciso de rectificado escalonado

Rectificado grueso: eliminación eficiente. Velocidad 15000–25000 rpm, presión 0,3–0,5 MPa, avance 200–300 μm/min. Espesor reducido a valor objetivo +20–30 μm.
Rectificado fino: precisión y calidad. Velocidad 25000–30000 rpm, presión 0,1–0,2 MPa, avance 50–100 μm/min. Micro-corte corrige espesor, Ra ≤50 nm.

Control de calidad: Prevención de defectos e inspección doble

Limpieza Clase 100, temperatura ≤40 ℃.
Tratamiento de defectos: reducir presión y comprobar rueda en astillado; compensar avance en desviación de espesor.
Inspección doble: medidor láser para espesor/TTV, microscopio para defectos superficiales.

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