كيفية تحقيق رقيقة دقيقة وفعالة للرقائق على آلة رقيقة الخلفية-

كيفية تحقيق رقيقة دقيقة وفعالة للرقائق على آلة رقيقة الخلفية

2026-02-19657

المعايير الأساسية لرقيقة دقيقة وفعالة للرقائق على آلة رقيقة الخلفية هي دقة التحكم في السماكة ±1–2 ميكرومتر، TTV (التغير الكلي في السماكة) ≤2 ميكرومتر، وعدم وجود عيوب مثل تشقق الحواف، الشقوق الدقيقة، أو الخدوش السطحية. يعتمد ذلك على التنسيق المنظم للمعالجة المسبقة للرقائق، ومطابقة المعدات والمواد الاستهلاكية، والتحكم الدقيق في العملية، ومراقبة الجودة طوال العملية.

الشروط الأساسية: المعالجة المسبقة ومطابقة المعدات والمواد الاستهلاكية
يجب أن تضمن المعالجة المسبقة للرقائق تسطحًا أوليًا مناسبًا، وعدم وجود شوائب أو طبقات أكسيد على الجانب الخلفي، وحماية الجانب الأمامي (باستخدام شريط لاصق UV/شريط أزرق عالي الالتصاق) لتجنب إتلاف الأنماط الأمامية أثناء المعالجة.
معايرة المعدات: التذبذب الشعاعي للمحور ≤0.5 ميكرومتر، دقة تحديد موقع آلية التغذية ≤0.1 ميكرومتر.
المواد الاستهلاكية: التنعيم الخشن باستخدام عجلات الماس 1000–2000#، التنعيم الدقيق باستخدام عجلات الراتنج 3000–8000#. يُحظر التلوث المتقاطع. yout التبريد مضبوط على 10–15 لتر/دقيقة.
العملية الأساسية: التحكم الدقيق في التنعيم المتدرج

التنعيم الخشن: إزالة المواد الزائدة بكفاءة. سرعة 15000–25000 دورة/دقيقة، ضغط 0.3–0.5 ميجا باسكال، معدل تغذية 200–300 ميكرومتر/دقيقة.
التنعيم الدقيق: ضمان الدقة والجودة. سرعة 25000–30000 دورة/دقيقة، ضغط 0.1–0.2 ميجا باسكال، معدل تغذية 50–100 ميكرومتر/دقيقة.

التحكم في الجودة: منع العيوب والفحص المزدوج

النظافة: الفئة 100، درجة الحرارة ≤40 مئوية.
الفحص المزدوج: جهاز قياس السماكة بالليزر لقياس السماكة و TTV، ومجهر لفحص العيوب السطحية.

التالي：معدات رقيقة الرقائق أشباه الموصلات: الموقع الأساسي، التصنيف ونقاط التحكم العملي