المكونات الأساسية والمتطلبات
المكونات الأساسية تتطلب معايرة دقيقة: التذبذب الشعاعي للمحور ≤ 0.5 ميكرومتر، دقة تحديد موقع آلية التغذية ≤ 0.1 ميكرومتر، مزودة بنظام الكشف المباشر ونظام التبريد (معدل التدفق 10–15 لتر/دقيقة). المواد الاستهلاكية متطابقة بالمراحل: التنعيم الخشن باستخدام عجلات الماس 500–2000#، التنعيم الدقيق باستخدام عجلات الراتنج 3000–8000#. يُحظر بشدة التلوث المتقاطع لغبار التنعيم.